兆频超声清洗技术（Megasonics）：频率革命：将超声频率从传统40kHz提升至950kHz，消除空化效应引发的微损伤（Cavitation Damage），使颗粒去除效率（PRE）提升3倍。能量聚焦：通过压电换能器阵列实现声场均匀分布，在30℃条件下即可完成0.1μm颗粒的高效剥离。

兆频超声清洗技术（Megasonics）工艺优势：化学品用量减少50%，适用于先进逻辑器件的接触孔清洗。与SC-1/SC-2药液兼容，在DRAM电容节点清洗中实现>99.9%的颗粒去除率。