作为清洗用途的超声波频率一般在20KHZ～170KHZ之间，常用的工作频率为  25KHz 、28KHZ、33KHZ、40KHZ、80KHZ、100KHZ、120KHZ、132KHz等。理论上频率越高清洗密度越大，清洗洁净度越高，但相对力度越小，多用于精密清洗。而频率越低则反之。所以40KHz以下的工作频率一般用于普通工业零件或污垢较多的情况下的清洗，如五金机械零件除油除腊等工作。而40KHz以上的工作频率大多用于精密零件的精密清洗，如光学/光电子玻璃器件及半导体材料 /器件等零件的精密清洗。

例如，在28kHz的频率下，这种空化现象每秒发生约28,000次，液体中发生无数的空化现象，它成为一种冲击波，用物理冲击力剥离粘附在被清洗物体上的污垢，可以有力地清洗。空化的冲击力因频率而异，频率越高，振幅越小，物理冲击力越弱。 另一方面，振幅越小，气蚀次数越多，对细小污垢有效，减少对待清洁物体的损坏。 由于污垢顽固，如油污和积碳，并且工件坚硬且不担心损坏因此低频率的25 kHz似乎是好的，如果有必要考虑损坏的可能性40 kHz似乎更好。

超声波清洗机(ultrasonic cleaning);被清洗零件浸没在清洗液中，向液体中辐射超声波并产生空化。由空化气泡运动产生的微冲流或由气泡崩塌产生的高强度冲击波,作用于附着在零件表面上及零件表面微孔、细缝中的污物,促使其脱落或加速溶解，从而达到清洗的目的。这种方法叫超声波清洗。金属零件超声波清洗机就是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对金属零件直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。所用的超声波清洗机中，空化作用和直进流作用应用得更多。